Innovative PVD-Schichten und neuste PVD-Beschichtungstechnik
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05548_2009_02_02
Moderne Präzisionswerkzeuge und Hochleistungskomponenten müssen für eine optimale Prozesseffizienz stets an ihrer Leistungsgrenze eingesetzt werden. Applikationsangepasste PVD-Hochleistungsbeschichtungen wie die mikrolegierten Schichten spielen hier in zunehmendem Maße eine Schlüsselrolle. Der vorliegende Artikel beleuchtet die erhöhten Anforderungen, stellt mikrolegierte Hochleistungsschichten sowie das zur Herstellung notwendige PVD-Anlagenkonzept vor. Eine neue PVD-Verfahrensvariante, das HIPAC Verfahren, wird vorgestellt und dessen Potenzial zur Beschichtung komplexer Bauteile illustriert.
| Authors | G. Erkens/J. Vetter/J. Alami/J. Müller |
|---|---|
| Publishing Date | 1 Feb 2009 |
| Format | |
| Zeitschrift | ewi - elektrowärme international - Ausgabe 02 2009 |
| Publisher | Vulkan-Verlag GmbH |
| Language | German |
| Pages | 4 |
| Title | Innovative PVD-Schichten und neuste PVD-Beschichtungstechnik |
| Description | Moderne Präzisionswerkzeuge und Hochleistungskomponenten müssen für eine optimale Prozesseffizienz stets an ihrer Leistungsgrenze eingesetzt werden. Applikationsangepasste PVD-Hochleistungsbeschichtungen wie die mikrolegierten Schichten spielen hier in zunehmendem Maße eine Schlüsselrolle. Der vorliegende Artikel beleuchtet die erhöhten Anforderungen, stellt mikrolegierte Hochleistungsschichten sowie das zur Herstellung notwendige PVD-Anlagenkonzept vor. Eine neue PVD-Verfahrensvariante, das HIPAC Verfahren, wird vorgestellt und dessen Potenzial zur Beschichtung komplexer Bauteile illustriert. |
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